特点

• 结构紧凑，排气量大。

• 干式真空泵的*压力水平。

• 内置自动复位型热保护器等安全设计。

• 通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

• 分析设备

• 气体回收系统

• 涂装设备

• TMP的背泵

• 氦气检漏仪

• 半导体制造工艺

规格

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
　　　空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和，符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意