特点

• 高温区域均热化
  实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
  “Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。

• 氦气密封
  通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

• 瞬停对策
  采取了1000msec以内瞬停对策。

• *的耐腐蚀性
  主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

• 通信功能
  可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

• CVD装置

• 蚀刻装置

• 灰化装置

• ALD、ALH 等

规格

*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。