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深圳京都玉崎推出ULVAC爱发科螺杆型干泵MS1200A
"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
MS120A
MS600A
MS1200A
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。 采用ULVAC设计的转子轴,实现高性能的排粉。 从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。特点
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。 真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。 锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。 医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。用途
*1:到达压力时规格
型式 MS120A MS600A MS1200A *排气速度 *1 m3/h 115 560 980 到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1 电源电压 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷却水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 *水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排气口 KF40 质量 *4 kg 139 241 264 适用规格 CE、cTUVus 标准附属品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer 本体选配件 Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM外部选配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用时的*水蒸气处理量
*4:Including a silencer
标签:深圳京都玉崎推出ULVAC爱发科螺杆型干泵MS1200A



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