LFC-7650-110622112 是美国 MALEMA（马莱玛）公司 LFC-7650 系列的一款高性能闭环超声波液体流量控制器，属于带集成压力传感器的一体化流量控制模块。该产品专为半导体制造中的高纯液体化学品与去离子水输送设计，将超声波流量计、控制阀、压力传感器及控制电子集成于单一模块，实现对纯液体流量的闭环控制。LFC-7650 系列于 2025 年获得 SEMICON West “Best of West” 创新奖项，被评价为“半导体制造精密化学品输送领域的变革性产品”。

工作原理
模块将 MALEMA 超声波流量计与电机驱动隔膜阀集成于一体。用户通过模拟信号输入流量设定点，流量控制电子模块持续将该设定值与流量计实测流量进行比较，驱动电机调节控制阀开度以维持设定流量。数字信号处理（DSP）技术确保在过程流体中存在一定量气泡时仍能保持可靠性能，同时消除环境与温度变化引起的测量漂移。

核心技术特性
高精度控制：流量控制精度为设定值的 ±1% 或 ±3 mL/min（取较大者），控制重复性为设定值的 ±0.5% 或 ±1 mL/min（取较大者），适用于对化学品配比精度有严格要求的应用。

快速响应：流量控制时间小于 3 秒，大多数应用条件下通常小于 2 秒，响应迅速且过冲量极小。

全 PTFE/PFA 接液结构：所有接液部件采用聚四氟乙烯（PTFE）与全氟烷氧基（PFA）材质，确保与纯液体化学品及去离子水的兼容性，不向工艺流体中引入金属离子或颗粒物污染。

集成压力传感器：内置压力传感器并提供模拟输出，压力测量范围 0-60 psi，精度为满量程的 ±1%，可为工具端提供与差分压力式流量控制器等效的流体压力监测信号。


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