日本爱发科ULVAC HR60 多级罗茨干泵真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC HR60 多级罗茨干泵真空泵 深圳京都玉崎现货

CVD/刻蚀高温工艺干泵怎么选？ULVAC HR60，高温均热化+耐腐蚀，活性气体排气

开篇：CVD和刻蚀排出的废气，普通干泵扛不住

CVD、刻蚀、灰化——这些工艺排出的可升华废气物质和腐蚀性气体，对干式真空泵是双重考验。普通干泵温度分布不均，废气在低温区域凝结成固体，腐蚀泵体、卡死转子。

更隐蔽的坑：HR系列专为高温工艺设计，通过高温区域均热化，将泵体维持在均匀高温状态，让CVD/刻蚀产生的可升华废气物质以气态形式排出，不会在泵内凝结。选型时不看工艺温度，常温干泵用在CVD上，废气凝结导致泵体腐蚀、频繁故障。另外HR系列大号型号（HR300及以上）是组合机型（干式真空泵+机械增压泵），不是单台泵，买回去要确认安装空间。

ULVAC HR60 / HR90 / HR300 / HR600 / HR1200 多级罗茨型干式真空泵，专为CVD、刻蚀、灰化等高温工艺设计，通过高温区域均热化将可升华废气物质以气态形式排出。抽速覆盖62~1012 m³/h。

五款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC爱发科经销商、ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

注1：HR300、HR600、HR1200为干式真空泵+机械增压泵（MBP）组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。
注2：MBP转子叶片表面处理为可选（HR300/600/1200）。
注3：冷却水要求——一次压力0.1~0.3 MPa，出入口压差>0.1 MPa。

一、HR60：小型高温干泵，CVD/刻蚀入门标配

HR60 *抽速 62 m³/h（50Hz）/ 80 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。适合小腔体、对高温均热化和耐腐蚀性有要求的CVD/刻蚀场景。

• 重量 180 kg

• 吸气口径 VG50 (KF50) ，排气口径 KF40

• 电源：三相 200V (50/60Hz) / 220V (60Hz) 

• 稳定时电流 7.1 A (at 200V) ，*负荷电流 7.3 A (at 200V) 

• 冷却水流量 >5.0 L/min

• N₂吹扫（轴）5 SLM，气镇 0~45 SLM

• 瞬停对策：可承受*长 1000ms 的电源中断

适合谁：小型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

二、HR90：中型高温干泵主力

HR90 *抽速 112 m³/h（50Hz）/ 126 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。抽速比HR60提升近一倍，适合中等规模CVD/刻蚀设备。

• 重量 245 kg

• 吸气口径 VG80 (KF50) ，排气口径 VG50

• 稳定时电流 11.2 A (at 200V) ，*负荷电流 11.8 A (at 200V) 

适合谁：中型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

三、HR300：组合机型，大抽速CVD/刻蚀主力

HR300 由HR60干式真空泵 + PRC-003A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 359 m³/h（50Hz）/ 365 m³/h（60Hz） ，极限压力大幅提升至 0.67 Pa。

• 重量 275 kg

• 吸气口径 VG80 (KF80) ，排气口径 KF40

• 稳定时电流 7.8 A (at 200V) ，*负荷电流 8.1 A (at 200V) 

• MBP转子叶片表面处理可选

⚠️ 重要提醒：HR300为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

四、HR600：中大型组合机型，653m³/h大抽速

HR600 由HR90干式真空泵 + PRC-006A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 653 m³/h（50Hz）/ 701 m³/h（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。

• 重量 370 kg

• 吸气口径 VG100 (KF100) ，排气口径 KF50

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz) 

• 稳定时电流 12.9 A (at 200V) ，*负荷电流 13.8 A (at 200V) 

⚠️ 重要提醒：HR600为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备。

五、HR1200：*号组合机型，1012m³/h大抽速

HR1200 由HR90干式真空泵 + PRC-012A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 1012 m³/h（50Hz）/ 1051 m³/h（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。HR系列*号，适合大型CVD/刻蚀系统。

• 重量 420 kg

• 吸气口径 VG100 (KF100) ，排气口径 KF50

• 稳定时电流 15.4 A (at 200V) ，*负荷电流 18.9 A (at 200V) 

⚠️ 重要提醒：HR1200为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

六、HR系列共同优势：高温均热化 + 耐腐蚀 + 瞬停对策

HR系列是ULVAC多级罗茨型干式真空泵，专为CVD、刻蚀等高温工艺设计。六大核心优势：

• 高温区域均热化：通过在高温范围内均化泵体，使CVD、刻蚀等产生的可升华废气物质以气态形式排出，防止在泵内凝结

• *的耐腐蚀性：内部零部件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性，防止腐蚀性气体对泵内部的磨损和腐蚀

• *的氦气抽取能力：采用密封电机（Canned Motor） ，密闭结构确保安全且易于维护

• 瞬停对策：可承受*长 1000ms 的电源中断

• 通信功能：可读取泵运转状态数据、警告/报警履历，支持集中监控

• CE：可根据要求提供

七、工程师选型避坑：HR系列怎么选

选型四步法：

1. 确认工艺类型：CVD/刻蚀/灰化/ALD高温工艺 → HR系列（高温均热化）；PVD/负载锁室常温工艺 → LR系列（低温均热化）；需要加热泵体/管路 → UR系列（高温）

2. 算抽速：小腔体（62 m³/h级）→ HR60；中型（112 m³/h级）→ HR90；大型（359~653 m³/h级）→ HR300/HR600；大型（1012 m³/h级）→ HR1200

3. 确认组合机型构成：HR300及以上为干式泵+机械增压泵组合，体积和重量较大，需确认安装空间

4. 确认厂务条件：需提供冷却水（>5.0 L/min） 和氮气吹扫（5 SLM） 

*不能做的事：

• 把HR系列当成普通干泵用在常温工艺——不如LR系列

• HR300及以上组合机型当成单台泵购买——是干式泵+机械增压泵成套，体积大

• 冷却水流量不足——过热损坏

• N₂吹扫不供应——密封效果下降

• 抽大量粉尘不加装前置过滤器——损坏泵体

• HR300/600/1200在200Pa以上运行——出设计运行范围

八、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：HR系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：MBP机械增压泵、消音器、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、氮气吹扫控制系统

• 技术支持：免费提供LR/HR/UR选型对比建议、抽速计算、冷却水/N₂条件评估、安装指导

九、落地适配全场景

• CVD设备：化学气相沉积工艺排气

• 刻蚀设备：干法刻蚀工艺排气

• 灰化设备：光刻胶灰化工艺

• ALD/ALH设备：原子层沉积/外延工艺

• 产生可升华废气物质的工艺：如硅晶体生长炉等

十、结尾转化

CVD/刻蚀高温干泵选型怕废气凝结、怕LR/HR分不清、怕组合机型买错？

ULVAC HR60 / 90 / 300 / 600 / 1200 高温均热化干式真空泵，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《HR系列选型确认表》。

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