特点

• 由于排气室是非接触的并且不使用油，因此可以长时间稳定排气。

• 无需冷却水和氮气，有助于降低运行成本。

• 安装了DC密封电机实现节能，气密和减重。

• 气镇压机构可以排出蒸汽。

• 符合CE,cTUVus

用途

• 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

• 真空干燥等水蒸气的排出（需要使用气镇）

• 溅射，蒸发等真空设备

规格

※1 极限压力是气镇阀内没有气体时的值。
※2 请从上表中选择使用电源的相位和电压，订购时注明。
※3 气镇用阀门为选装件。
※4 使用气镇时候的*水蒸气处理量。水蒸气排气时请务必使用 气镇机构。